数字の意味
液状フォトイメージャブルマスクは印刷またはスプレーで塗布し、露光して硬化させます。配線の上ではおよそ 15〜25 µm になり、露出した積層材の上ではより薄くなります。したがって、単一の厚みを記載した図面は単純化です。
測り方
- 断面観察 — 基準となる方法で、配線の上、パッドの間、積層材の上で測ります。
- 光学式／渦電流式 — 速く非破壊で、相関を取ったうえで工程管理に使います。
- テープ試験とピール試験 — 密着性と硬化の確認であり、厚みの測定ではありません。
工程のてこ
スクリーンのメッシュ、インク粘度、印刷速度、硬化プロファイルが結果を動かします。ファインピッチのパッド間に厳しいマスク土手がある設計では、印刷パラメータはパネルの平均ではなく、その形状に合わせて設定します。
マスク厚が機能要件である場合——高電圧の絶縁など——は、銅の上の最小値と測定方法を指定してください。ロットと一緒に報告します。マスクの印刷パラメータはプリント基板製造の一式に含まれるため、機能上の最小値は後日のメールではなく図面に載せるべきものです。
